半导体质料是半导体工业的基础质料,其中硅作为半导体质料中用量最大和用途最广的质料。在半导体芯片中,单晶硅质料占据了整个芯片体积的约99%,其生产技术和产量体现了一个国家在半导体行业中的生长水平。同时随着光伏行业的迅猛生长,单晶硅又被用来制作太阳能电池,逐渐取代多晶硅的行颐魅占比。以此,市场对单晶硅的品质和长晶装备稳定性的要求也越来越高。

单晶炉作为一种在惰性气体(氮气、氦气为主)情况中,用石墨加热器将多晶硅等多晶质料熔化,然后用直拉法生长无错位单晶的专用冶炼设备,是目前人工单晶硅生长设备中很重要的产品系列。其结构如上图所示,主要由主机(包括炉体、籽晶旋转提升机构、坩埚轴驱动机构)以及抽气系统、充气系统、液压系统、水冷系统、加热电路电源、磁场控制装置等组成。

单晶直径生长历程中的质量,与温度、提拉速度和转速,坩埚跟踪速度和转速,�;て宓牧魉俚纫蛩孛芮邢喙�。其中,坩埚轴驱动部件作为单晶炉设备的焦点部件之一,要求种种精度都比较高。而冷却水旋转接头作为坩埚轴驱动机构�?榈闹匾悴考爸�,装置于坩埚轴的下部,主要起到冷却以及旋转密封的作用,实现牢固管道的冷却水输送及热交换后的热水排出。同时在设备运转历程中,若旋转接头阻力大,则极易影响坩埚轴偏心振动,从而降低单晶硅的生产质量�?梢运�,旋转接头的品质崎岖也成为了单晶炉生产单晶硅品质崎岖不可忽视的要害。

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以上系列单晶炉用冷却水旋转头的提升不止是阻力优化,更是产品综合性能的全面提升。通过技术和工艺的提升,实现产品“更宁静、更可靠、更高效、更环保”全面升级,使用效果媲美外洋进口产品,不但仅在单晶炉行业中,同时在其他相关领域的实际应用中均取得了很好的效果,为客户带来越发宁静可靠的使用体验,并创立了更大经济效益。

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